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Proceedings
ISSN 1614-8436
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P. Seidel
P. Seidel
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V., Leibniz Institute of Surface Engineering
1 paper
A18 · Talk · 108. Conference (2007)
Deterministische Ionenstrahlkorrektur von Oberflächenformfehlern bis in den sub-mm Ortswellenlängenbereich
T. Hänsel, P. Seidel, A. Nickel, A. Schindler