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Proceedings
ISSN 1614-8436
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Hans Josef Hug
Hans Josef Hug
Department of Physics, University of Basel
Eidgenössische Materialprüfungs- und Forschungsanstalt (Empa), Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology
1 paper
P27 · Poster · 107. Conference (2006)
Fabry-Perot-Interferometer für die Positionsbestimmung von Mikro-Spiegeln
E. Langenbach, H.-J. Heimbeck, B. W. Hoogenboom, P. L. T. M. Frederix, H. J. Hug, A. Engel