Wolfgang Hanke

Chair of Micro- and Nanophotonics, University of Hagen
Junior Professorship for Optical Microsystems, University of Hagen

2 papers

P19 · Poster · 107. Conference (2006)

Optimiertes Maskendesign für die Herstellung mikrooptischer Bauelemente mit der optischen Rasterlithographie

W. Hanke, M. Gruber, J. Jahns