Andreas Rathsfeld

Weierstraß-Institut für Angewandte Analysis und Stochastik, Weierstrass Institute for Applied Analysis and Stochastics

1 paper

H7 · Keynote · 107. Conference (2006)

Scatterometrie: optische 3D-Charakterisierung strukturierter Oberflächen ohne (Beugungs-) Grenzen?

M. Wurm, B. Bodermann, H. Gross, A. Rathsfeld