Jochen Hetzler

Carl Zeiss SMT GmbH

2 Beiträge

B16 · Vortrag · 109. Tagung (2008)

Rekonstruktion der Gitterparameter zweidimensionaler Gitter mit Hilfe der RCWA und analytischer Gradientenberechnung

B. Trauter, J. Hetzler

B8 · Vortrag · 107. Tagung (2006)

Die Höhen-Transfer-Funktion (HTF) zur Charakterisierung der lateralen Auflösung in Interferometern

B. Dörband, J. Hetzler