Thomas Kissinger

Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau

2 Beiträge

B34 · Vortrag · 126. Tagung (2025)

Interferometrisches Streifenstabilisierungssystem für scannende Interferenzlithografie auf Basis eines Polarisations-Bildsensors

K. Treptow, H. Wu, J. Rühle, I. Ortlepp, O. Sawodny, E. Manske, T. Kissinger, C. Pruß, T. Haist, S. Reichelt

P10 · Poster · 126. Tagung (2025)

Pre-Development Positional Metrology for Exposed Photoresist Patterns Using a High-Sensitivity Focus Sensor Integrated with a Nanopositioning System

X. Zou, T. Kissinger