Josias Rühle

Institut für Systemdynamik, Universität Stuttgart

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B34 · Vortrag · 126. Tagung (2025)

Interferometrisches Streifenstabilisierungssystem für scannende Interferenzlithografie auf Basis eines Polarisations-Bildsensors

K. Treptow, H. Wu, J. Rühle, I. Ortlepp, O. Sawodny, E. Manske, T. Kissinger, C. Pruß, T. Haist, S. Reichelt