Max Funck

Funck Optics GmbH
Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen

2 Beiträge

B31 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Color corrected optical relay system for photolithographic DNA-synthesis

M. Funck, M. Somoza
P52 · Poster · 112. Tagung (2011)

Echtzeitfähige Laserstrahlregelung zur Kompensation thermischer Effekte

O. Pütsch, V. Morasch, M. Funck, P. Loosen