Tajim Md Hasibur Rahman

Bremer Institut für Messtechnik, Automatisierung und Qualitätswissenschaft, Universität Bremen

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A21 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Scatterometry-based assessment of defective nanograss surfaces - a virtual experimentation setup for uncertainty analysis

T. M. H. Rahman, D. Stöbener, A. Fischer