Bernhard Lüttgenau

Chair for Technology of Optical Systems, RWTH Aachen University

1 paper

A19 · Talk · 125. Conference (2024)

Herstellung von (komplex) periodischen Strukturen durch Talbot-Lithografie mit kompakten EUV-Quellen

L. Lohmann, B. Lüttgenau, S. Brose, S. Danylyuk, J. Stollenwerk, C. Holly