Lars Lohmann

Lehrstuhl für Technologie Optischer Systeme, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen

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A19 · Vortrag · 125. Tagung (2024)

Herstellung von (komplex) periodischen Strukturen durch Talbot-Lithografie mit kompakten EUV-Quellen

L. Lohmann, B. Lüttgenau, S. Brose, S. Danylyuk, J. Stollenwerk, C. Holly