Philipp Hönicke

Physikalisch-Technische Bundesanstalt, Physikalisch-Technische Bundesanstalt (German National Metrology Institute)

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A16 · Talk · 125. Conference (2024)

Entwicklungen und Herausforderungen in der EUV und X-ray nano metrologie für Lithographische Strukturen

V. Soltwisch, R. Ciesielski, M. Mulazzi, A. Fernández Herrero, A. Andrle, N. Abbasirad, V. Truong, L. Lohr, P. Hönicke, M. Kolbe, F. Scholze