Patrick Steglich

Technische Hochschule Wildau

IHP – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften, Technische Hochschule Wildau

8 Beiträge

B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

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Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt, St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich, A. Mai, S. Schrader, M. Regehly

P16 · Poster · 124. Tagung (2023)

Optical Through-Silicon Waveguides for 3D-Chip-Interconnections

F. Villasmunta, P. Steglich, F. Heinrich, C. Villringer, A. Mai, S. Schrader, H. Schenk

P26 · Poster · 124. Tagung (2023)

Silizium-photonische Biosensoren mit monolithisch integrierter Mikrofluidik

P. Steglich, M. Paul, G. Lecci, C. Mai, A. Mai

A17 · Vortrag · 122. Tagung (2021)

Bestimmung der optischen Konstanten und Streueigenschaften von transparenten Kunststoffen auf Polyurethanbasis für den Einsatz in der Optoelektronik

J. Bauer, O. Fursenko, F. Heinrich, M. Gutke, B. Dietzel, E. Kornejew, O. Broedel, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Edling, S. Pulwer, P. Steglich, M. Herzog, S. Schrader

P7 · Poster · 122. Tagung (2021)

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Neuartige UV-transparente 2-Komponenten-Polyurethanharze für Chip-on-Board-LED-Mikrolinsen

M. Gutke, J. Bauer, S. Pulwer, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Gruenefeld, M. Gamp, M. Edling, V. Stoycheva, P. Steglich, F. Heinrich, S. Steffen, M. Herzog, C. Dreyer, S. Schrader

P39 · Poster · 121. Tagung (2020)

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Asymmetrische Polymer-Linsen für Beleuchtungssysteme

J. Bauer, M. Gutke, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Gruenefeld, M. Gamp, M. Edling, P. Steglich, F. Heinrich, S. Schrader

P40 · Poster · 121. Tagung (2020)

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Neuartige UV-transparente 2-Komponenten-Polyurethanharze für Chip-on-Board-LED-Mikrolinsen

M. Gutke, J. Bauer, A. Kaltenbach, M. Burkhardt, M. Gruenefeld, M. Gamp, M. Edling, V. Stoycheva, P. Steglich, F. Heinrich, S. Steffen, M. Herzog, C. Dreyer, S. Schrader, C. Gerhard

P23 · Poster · 117. Tagung (2016)

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Fiber-optic interference fringe projection for 3D measurement

S. Pulwer, P. Steglich, C. Villringer, J. Bauer, T. Reusch, S. Schrader