Harald Schenk

Brandenburgische Technische Universität Cottbus-Senftenberg

Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS

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P16 · Poster · 124. Tagung (2023)

Optical Through-Silicon Waveguides for 3D-Chip-Interconnections

F. Villasmunta, P. Steglich, F. Heinrich, C. Villringer, A. Mai, S. Schrader, H. Schenk