Francesco Villasmunta

Technische Hochschule Wildau

Brandenburgische Technische Universität Cottbus-Senftenberg

2 Beiträge

B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt, St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich, A. Mai, S. Schrader, M. Regehly

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P16 · Poster · 124. Tagung (2023)

Optical Through-Silicon Waveguides for 3D-Chip-Interconnections

F. Villasmunta, P. Steglich, F. Heinrich, C. Villringer, A. Mai, S. Schrader, H. Schenk