Martin Regehly

Technische Hochschule Wildau

Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften, Technische Hochschule Wildau

4 Beiträge

A13 · Vortrag · 127. Tagung (2026)

Integrated Silicon Nitride Optical Gyroscope: Design, Fabrication, and Path to Quantum Enhancement

M. Voiculescu, S. Kasireddy, T. Fünning, F. Thomsen, F. Brauer, A. Mai, P. Heise, M. Regehly

B15 · Vortrag · 127. Tagung (2026)

Xolographie: Schneller volumetrischer 3D-Druck optischer Elemente

B16 · Vortrag · 127. Tagung (2026)

In-Situ Raman Spectroscopy for Process Optimization in Volumetric 3D Printing

N. Lange, T. Döhler, M. Regehly

B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt, St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich, A. Mai, S. Schrader, M. Regehly