Andreas Mai

IHP – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Technische Hochschule Wildau

4 Beiträge

A13 · Vortrag · 127. Tagung (2026)

Integrated Silicon Nitride Optical Gyroscope: Design, Fabrication, and Path to Quantum Enhancement

M. Voiculescu, S. Kasireddy, T. Fünning, F. Thomsen, F. Brauer, A. Mai, P. Heise, M. Regehly

B35 · Vortrag · 124. Tagung (2023)

Messverfahren zur Kontrolle tiefer Siliziumstrukturen für die 3D-Chip-Integration

J. Bauer, F. Villasmunta, F. Heinrich, C. Villringer, J. Reck, S. Peters, A. Treffer, Chr. Kuhnt, St. Marschmeyer, O. Fursenko, P. Steglich, A. Mai, S. Schrader, M. Regehly

P16 · Poster · 124. Tagung (2023)

Optical Through-Silicon Waveguides for 3D-Chip-Interconnections

F. Villasmunta, P. Steglich, F. Heinrich, C. Villringer, A. Mai, S. Schrader, H. Schenk

P26 · Poster · 124. Tagung (2023)

Silizium-photonische Biosensoren mit monolithisch integrierter Mikrofluidik

P. Steglich, M. Paul, G. Lecci, C. Mai, A. Mai